MarSurf FI 2100 AS

Измерения аксиально-симметричных асфер, внеосевых асфер, асфер с изменяющимся знаком наклона и поверхностей произвольной формы   

MarSurf FI 2100 AS интерферометр Физо позволяет проводить быстрые, бесконтактные измерения асферических поверхностей с высокой точностью. Запатентованная технология ESDI Computer Generated Reference™ (CGR™) в сочетании с выборкой суб-Найквист и традиционной интеферометрией фазового сдвига (PSI) позволяет получить точные и быстрые измерения асферических оптических компонент и поверхностей без сшивания, сканирования, нуль оптики и CGH.

Как это работает.

Новейшее поколение MarSurf FI 2100 AS самых современных интерферометров Физо объединяет технику выборки суб-Найквист и традиционную технологию измерения фазового сдвига чтобы точно измерить асферические поверхности. MarSurf FI 2100 AS использует стандартные пропускающие сферы для измерения асферических поверхностей. Это означает, что пути исследуемого и опорного луча больше не совпадают. Впрочем, запатентованная технология ESDI Computer Generated Reference™ (CGR™) выполняет автоматическую самокалибровку для несовпадающих путей при помощи создания CGR™. CGR™ получается из оптической установки интерферометрической измерительной системы и оптической установки измеряемой поверхности. В сущности CGR™ это то, какими бы были интерференционные полосы, если бы изучаемая поверхность в точности совпадала с ее оптическим описанием. Далее CGR™ объединяется в режиме реального времени с настоящим видео интерференционных полос. Это сочетание приводит к эффекту Муара и позволяет создать обнуленные интерферограммы, очень схожие с генерированными из стандартных сферических поверхностей. Далее ПО системы использует полосы Муара для быстрой, точной автоматической настройки тестируемой сферической поверхности. После сбора данных CGR™ автоматически вычитается из полученных данных, чтобы получить актуальную разницу OPD относительно модели асферической поверхности.

Особенности и преимущества.

• Измеряет торические, биконические поверхности, вне осевые параболоиды, поверхности произвольной формы и другие поверхности без осевой симметрии
• Не требуется: нуль линза, CGH, осевое сканирование, процесс сшивания
• Возможности для полностью или полу автоматизированных рабочих установок

MarSurf FI 2100 PS   

MarSurf FI 2100 PS новейший интерферометр Физо ESDI. MarSurf FI 2100 PS производит бесконтактные измерения плоских или сферических поверхностей наряду с измерением прошедшего через оптические компоненты и сборки волнового фронта. MarSurf FI 2100 PS осуществляет измерения непревзойденной точности для низко и средне-пространственных частот независимо от

окружающей среды при помощи оптики с дифракционным пределом, камеры с высоким разрешением, великолепным ITF и запатентованным динамическим PMR(Phase-measuring receptacle). MarSurf FI 2100 PS оснащен всемирно известным программным обеспечением ESDI по сбору и анализу данных IntelliWave™, что гарантирует пользователю топовые измерительные возможности.

Приложения

• Измерения плоских, вогнутых или выпуклых поверхностей.
• Измерение призм, уголковых отражателей, угла наклона и однородности материалов
• Измерение оптических, механически обработанных, керамических и многослойных/дисковых поверхностей
• Анализ оптических систем и компонентов переданного волнового фронта
• Измерение на производстве и в цехах.

Основные особенности и преимущества

• Оптическая система с дифракционным пределом
• 2k x 2k пространственное разрешение
• великолепный ITF гарантирует измерения непревзойденной точности для низко и средне-пространственных частот
• запатентованный PMR для «динамических» возможностей в суровых условиях
• Совместим со всеми оптическими элементами и аксессуарами 4” (100 мм) промышленного стандарта
• Рабочие станции для измерения плоских и криволинейных образцов от коротких до длинных радиусов кривизны.

MarSurf FI 3100 VB

Одновременное фазо-сдвигание для вибрационной и турбулентной среды   

MarSurf FI 3100 VB одновременный фазо-сдвигающий интерферометр Физо в режиме реального времени, высокоскоростной, истинно нечувствительный к вибрации метрологический инструмент с выдержкой до 10µs. Идеально подходит для производственных цехов, вибрационной или турбулентной окружающей среды. MarSurf FI 3100 VB предлагает непревзойденную

универсальность измерений, стабильность и повторяемость для измерений и анализа оптических, механически обработанных поверхностей и полупроводниковых многослойных пластин.


MarSurf FI 3100 VB с Auto-SPARC

Все интерферометры на основе поляризации, нечувствительные к вибрации, в сущности двухлучевые интерферометры. Это так, потому что они используют ортогонально поляризованный тестовый и опорные лучи для достижения одновременного фазового сдвига. Таким образом, двулучепреломление (естественное или вызванное напряжением) в оптической системе интерферометра или оптической системе, вызовут изменения в фазе между поляризованными лучами P- и S- которые скажутся в ошибках измерения. Впрочем, уникальная разработка MarSurf FI 3100 VB в паре с Auto-SPARC,позволяют ESDI преодолеть и исключить эти ошибки. При помощи Auto-SPARC MarSurf FI 3100 VB демонстрирует приборные ошибки менее, чем Λ/100 без оптической изоляции от вибрации.  MarSurf FI 3100 VB действительно двулучевой интерферометр, но в отличие от подобных систем MarSurf FI 3100 VB не имеет конкурентов по своей общей эффективности.

Как это работает

Одновременное фазо-сдвигание достигается при использовании поляризации для достижения фазового сдвига и путем замены стандартной камеры на запатентованный модуль ESDI HyperPhase™. Модуль использует три выровненные по субпикселам камеры, которые монолитно связаны вместе с разделителем луча и поляризационной оптикой в небольшом прочном корпусе. В результате получается высоконадежная и точная система камер с пожизненной гарантией регулировки. Преимущество использования трех камер состоит в том, что каждая интерферограмма сохраняет настоящее разрешение камеры.

Приложения

• Измеряет плоские, вогнутые и выпуклые поверхности от маленького до астрономического размера
• Длинный оптический путь и измерения удаленных плеч Физо
• Измерения в вакуумной/криогенной комнате
• Измерения на месте: оптических, механически обработанных и многослойных поверхностей
• Динамические измерения для термодинамических событий, вращения дисков и т.д.
• Описание и удаление эффекта двулучепреломления

Основные характеристики и преимущества

• Абсолютная нечувствительность к вибрации
• Физо геометрия общего пути
• Измеряет поверхности с отражающей способностью от 0.1% до 100%
• Автоматическое измерение напряжений
• Приложения с удаленным плечом Физо и длинным оптическим путем
• 10µs время экспозиции
• Реальное разрешение 1k x 1k, плотность интерференционных полос эквивалентна ≥ 250 полос наклона
• Использует стандартную опорную оптику 100 mm (4″) с байонетным креплением