^Вверх
MarSurf FI 2100 AS
Измерения аксиально-симметричных асфер, внеосевых асфер, асфер с изменяющимся знаком наклона и поверхностей произвольной формы
MarSurf FI 2100 AS интерферометр Физо позволяет проводить быстрые, бесконтактные измерения асферических поверхностей с высокой точностью. Запатентованная технология ESDI Computer Generated Reference™ (CGR™) в сочетании с выборкой суб-Найквист и традиционной интеферометрией фазового сдвига (PSI) позволяет получить точные и быстрые измерения асферических оптических компонент и поверхностей без сшивания, сканирования, нуль оптики и CGH.
Как это работает.
Новейшее поколение MarSurf FI 2100 AS самых современных интерферометров Физо объединяет технику выборки суб-Найквист и традиционную технологию измерения фазового сдвига чтобы точно измерить асферические поверхности. MarSurf FI 2100 AS использует стандартные пропускающие сферы для измерения асферических поверхностей. Это означает, что пути исследуемого и опорного луча больше не совпадают. Впрочем, запатентованная технология ESDI Computer Generated Reference™ (CGR™) выполняет автоматическую самокалибровку для несовпадающих путей при помощи создания CGR™. CGR™ получается из оптической установки интерферометрической измерительной системы и оптической установки измеряемой поверхности. В сущности CGR™ это то, какими бы были интерференционные полосы, если бы изучаемая поверхность в точности совпадала с ее оптическим описанием. Далее CGR™ объединяется в режиме реального времени с настоящим видео интерференционных полос. Это сочетание приводит к эффекту Муара и позволяет создать обнуленные интерферограммы, очень схожие с генерированными из стандартных сферических поверхностей. Далее ПО системы использует полосы Муара для быстрой, точной автоматической настройки тестируемой сферической поверхности. После сбора данных CGR™ автоматически вычитается из полученных данных, чтобы получить актуальную разницу OPD относительно модели асферической поверхности.
Особенности и преимущества.
MarSurf FI 2100 PS
MarSurf FI 2100 PS новейший интерферометр Физо ESDI. MarSurf FI 2100 PS производит бесконтактные измерения плоских или сферических поверхностей наряду с измерением прошедшего через оптические компоненты и сборки волнового фронта. MarSurf FI 2100 PS осуществляет измерения непревзойденной точности для низко и средне-пространственных частот независимо от
окружающей среды при помощи оптики с дифракционным пределом, камеры с высоким разрешением, великолепным ITF и запатентованным динамическим PMR(Phase-measuring receptacle). MarSurf FI 2100 PS оснащен всемирно известным программным обеспечением ESDI по сбору и анализу данных IntelliWave™, что гарантирует пользователю топовые измерительные возможности.
Приложения
Основные особенности и преимущества
MarSurf FI 3100 VB
Одновременное фазо-сдвигание для вибрационной и турбулентной среды
MarSurf FI 3100 VB одновременный фазо-сдвигающий интерферометр Физо в режиме реального времени, высокоскоростной, истинно нечувствительный к вибрации метрологический инструмент с выдержкой до 10µs. Идеально подходит для производственных цехов, вибрационной или турбулентной окружающей среды. MarSurf FI 3100 VB предлагает непревзойденную
универсальность измерений, стабильность и повторяемость для измерений и анализа оптических, механически обработанных поверхностей и полупроводниковых многослойных пластин.
MarSurf FI 3100 VB с Auto-SPARC
Все интерферометры на основе поляризации, нечувствительные к вибрации, в сущности двухлучевые интерферометры. Это так, потому что они используют ортогонально поляризованный тестовый и опорные лучи для достижения одновременного фазового сдвига. Таким образом, двулучепреломление (естественное или вызванное напряжением) в оптической системе интерферометра или оптической системе, вызовут изменения в фазе между поляризованными лучами P- и S- которые скажутся в ошибках измерения. Впрочем, уникальная разработка MarSurf FI 3100 VB в паре с Auto-SPARC,позволяют ESDI преодолеть и исключить эти ошибки. При помощи Auto-SPARC MarSurf FI 3100 VB демонстрирует приборные ошибки менее, чем Λ/100 без оптической изоляции от вибрации. MarSurf FI 3100 VB действительно двулучевой интерферометр, но в отличие от подобных систем MarSurf FI 3100 VB не имеет конкурентов по своей общей эффективности.
Как это работает
Одновременное фазо-сдвигание достигается при использовании поляризации для достижения фазового сдвига и путем замены стандартной камеры на запатентованный модуль ESDI HyperPhase™. Модуль использует три выровненные по субпикселам камеры, которые монолитно связаны вместе с разделителем луча и поляризационной оптикой в небольшом прочном корпусе. В результате получается высоконадежная и точная система камер с пожизненной гарантией регулировки. Преимущество использования трех камер состоит в том, что каждая интерферограмма сохраняет настоящее разрешение камеры.
Приложения
Основные характеристики и преимущества